마이크로 전자기기

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마이크로 전자기기

마이크로 전자기기를 생산하는 실내 환경은 어떤 경우라도 먼지가 제거된 청정 조건이어야 합니다.

오염 제어

· 급기는 3단계 필터링 과정이 필요(마지막 3단계는 HEPA 필터)
· 인접한 실내의 과압은 약 15Pa로 유지
· 실내의 모든 표면은 매끄럽고 청소하기 쉬워야 함 - 둥근 모서리 처리, 연결 부위는 최대한 적게 사용